フリーダイヤル、HPのお問い合わせフォーム、Facebookから…と
様々にありますが。
お電話でお問い合わせを頂いた時の一例をご紹介したいと思います。
半導体製造装置に電気ヒーターを使いたい…そんな時、
弊社の営業マンなら、こんな風にお話するかも知れません。
episode１．半導体製造装置 ヒーター昇温時間を早めたいんだ！編
半導体製造装置のメーカーに勤めるA君。
新規装置の設計を任されたものの、ヒーターに関する知識は皆無。
たまたまgoogleで見つけたヒーターメーカーの河合電器。
フリーダイヤルへ掛けると、担当者から電話がかかってくることに・・・。
 | どうもっお世話様です！ 河合電器の坂野です。 フリーダイヤルからのお問い合わせ、ありがとうございます。 半導体の製造装置に搭載するヒーターに関して… ということでお問い合わせ頂いた様ですが。 |
| はい。えーと、必要温度は約130℃です。 恒温槽内の雰囲気を130℃までの到達時間を出来るだけ速くしたいと考えています。 |  |
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使用目的、方法から安定したヒーター提案の方向を決定します。
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 | なるほど。130℃で恒温槽の雰囲気加熱、プローバーかハンドラなど、検査装置でしょうか？ |
| その通りで、検査装置なんです。 新規種立ち上げを検討しており、現行機種より多いデバイス処理を行える装置開発を進めている中で、ヒーターの選定に迷っています。 | |
| そういう事ですね。 となると、メモリー用の検査装置でしょうかね。 恒温槽はどの程度の大きさになりますか？ 雰囲気加熱は、ファンによる空気の循環式をご検討されてますか？ もしくは対流による加熱検討になりますかね？ |
| メモリー用ですね。 加熱はファンによる循環を考えています。 | |
| 雰囲気温度の温度公差などもシビアにみられているんでしょうね。 恒温槽に対する、ヒーターとファンの位置関係によって、デバイスの昇温時間は変わってきますよ。 類似する用途、実績は多分にありますから、耐久性を考慮したヒーター仕様、取り付け構図のご提案まで可能ですよ。 |
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半導体製造装置で、KAWAIヒーターは多くの実績が御座います。
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| それは頼もしいですね。 恒温槽も何種類かあり、目的が異なります。 必要熱量も合わせて変わってくると思いますが、それぞれに合わせたヒーター設計も可能ですか？ | |
| 空気加熱の場合、空気の接触面積と時間が影響しますからね。 全体的な構造に合わせ、ヒーター出力を変える事も、もちろん可能です。 もちろん必要熱量を計算してヒーター仕様選定を行う事も可能ですよ。 |
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必要熱量や 現行ヒーターの能力が、簡単に計算可能です。
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| 現行品よりヒーター容量を増やすこともできますかね？ | |
| エコの観点もありますし、電流値は増してしまいます。 この辺は制御方法でも改善出来そうですが、まずは効率の良い取り付け構造から 工夫したいですね。 |
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周辺からヒーターへの影響を考え、装置全体で検討致します。
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| そうなんですか。 装置を見て頂いた方が仕様が詰められそうですね。 弊社に来て頂くことは出来ますでしょうか？ | |
| もちろん！ |
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装置の見学もお引き受けします。全ては最適な提案のため！
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